常見的真空等離子清洗機(jī)真空度單位有哪些
時間:2022-07-22 16:49
真空等離子清洗機(jī)的真空度，是影響等離子表面處理效果重要的因素之一。國內(nèi)品牌的真空等離子清洗機(jī)常用的真空度單位基本是帕（Pa），但是國外品牌的真空等離子清洗機(jī)就會出現(xiàn)托（Torr）、巴（bar）等單位，相互之間如何換算，有的時候不太容易搞得清楚。今天昭沅就來帶大家梳理一下常見的幾個真空度單位。
1、真空、真空度和壓力單位
真空是指真空反應(yīng)腔室里面低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體狀態(tài)，微觀上來講就是腔體內(nèi)的氣體分子密度小于大氣壓的分子密度，不同的真空狀態(tài)意味著不同的分子密度。
真空度反應(yīng)的是真空狀態(tài)空間氣體的稀薄程度，通常用氣體壓力值來來表示。真空度越高，壓力值越小；真空度越低，壓力值越大。
壓力單位反應(yīng)真空壓力值的大小，由于歷史和習(xí)慣的原因，不同的國家和地區(qū)使用的單位有所區(qū)別。
2、幾種常見的真空壓力單位和相互之間的換算
國內(nèi)外品牌真空等離子清洗機(jī)比較常見的真空度單位有3個，即帕斯卡（Pa）、托（Torr）、巴（bar），其中后面兩個單位歐美系的品牌比較常見。
2-1 帕斯卡（Pa），簡寫帕，國際單位制，我國法定壓力單位，是為紀(jì)念法國物理學(xué)家與數(shù)學(xué)家帕斯卡而命名。換算關(guān)系如下：
1 帕（Pa）= 7.5×10-3托（Torr）=10-2毫巴（mbar）
2-2 托（Torr），1Torr即1mmHg。Torr 參照國際單位制（簡稱SI）制訂的中華人民共和國法定計(jì)量單位規(guī)定壓強(qiáng)單位為Pa(帕），兩種單位之間換算關(guān)系為1托=133.322帕。換算關(guān)系如下：
1托（Torr）=133.322帕（Pa）=1.33322毫巴（mbar）
2-3 巴（bar），非法定計(jì)量單位，即1平方厘米的面積上受到100萬達(dá)因作用力，壓強(qiáng)就是1巴，合100000帕。換算關(guān)系如下：
1毫巴（mbar）=7.5×10-1托（Torr）=102帕（Pa）
3、真空壓度的測量
用來測量真空等離子清洗機(jī)真空度的儀器是真空計(jì)（Vacuum Gauge），又名真空表，其度數(shù)反應(yīng)的是等離子清洗機(jī)反應(yīng)腔室內(nèi)氣壓的變化和實(shí)時的數(shù)值，能否精準(zhǔn)測量對等離子表面處理工藝很重要。不同的真空度，等離子體放電狀態(tài)、等離子密度和特性區(qū)別很大。
