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光刻掩膜版

上海昭沅提供石英基片、石英板、菲林板等光刻掩膜版,根據(jù)客戶需求定制!

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掩膜版(Photomask),又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版等,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版, 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜圖形,并通過曝光將圖形轉(zhuǎn)印到產(chǎn)品基板上。掩膜版是芯片制造過 程中的圖形“底片”,用于轉(zhuǎn)移高精密電路設(shè)計,承載了圖形設(shè)計和工藝技術(shù)等知識產(chǎn)權(quán)信息。掩模版用于芯片 的批量生產(chǎn),是下游生產(chǎn)流程銜接的關(guān)鍵部分,是芯片精度和質(zhì)量的決定因素之一。

 

掩膜版根據(jù)基板材質(zhì)的不同可分為石英掩膜版、蘇打掩膜版和其他(包含凸版、菲林)。石英掩膜版使用 石英玻璃作為基板材料,光學(xué)透過率高,熱膨脹率低,相比蘇打玻璃更為平整耐磨,使用壽命長,主要用于高 精度掩膜版;蘇打掩膜版則使用蘇打玻璃作為基板材料,光學(xué)透過率較高,熱膨脹率相對高于石英玻璃,平整 度和耐磨性相對弱于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版;而凸版使用不飽和聚丁二烯樹脂作為基板材料,主 要用于液晶顯示器(LCD)制造過程中的定向材料移?。环屏质褂?PET 作為基板材料,主要用于電路板掩膜。

 

 

 

 

 

 

 

2.5英寸-9英寸尺寸范圍都可定制。

 

 

 

掩膜版應(yīng)用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領(lǐng)域都需要使用掩膜版。

 

 

 

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