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PE-100等離子表面處理機

PE-100等離子表面處理機是一款集綜合功能于一身的重量級產(chǎn)品。既可以應(yīng)用于大學(xué)，科學(xué)研究機構(gòu)，又能在工業(yè)級應(yīng)用領(lǐng)域針對于小批量生產(chǎn)發(fā)揮強大作用。

美國產(chǎn)PE-100實驗室等離子表面處理機
 

    PE-100等離子表面處理系統(tǒng)是一款集綜合功能于一身的重量級產(chǎn)品。既可以應(yīng)用于大學(xué)，科學(xué)研究機構(gòu)，又能在工業(yè)級應(yīng)用領(lǐng)域針對于小批量生產(chǎn)發(fā)揮強大作用。

產(chǎn)品特點：


1.體積小，臥式設(shè)計，可放置在實驗臺上或小推車上，方便靈活的移動。

2.性能可靠，“度量”寬大。真空腔體采用T6061航空鋁合金材料無縫焊接，有效處理面積達到約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)可以輕松將大部分實驗樣品放入真空腔體內(nèi)并實現(xiàn)小批量生產(chǎn)。

3.配置靈活PE-100可配置不同的頻率及功率：100-460KHz/13.56MHz還提供不同的功率以供用戶選擇。在控制系統(tǒng)上，可選擇PLC微電腦控制或更精準的全數(shù)字電腦控制，以滿足不同用戶的要求。

4.可以配置過程控制的溫控電極與RIE反應(yīng)性等離子體處理系統(tǒng)。

5. 操作簡便，一般操作人員在極短的時間內(nèi)就可以熟練操作，甚至只需要幾分鐘就可掌握。

6.安全保障：在小型設(shè)備中，引入一鍵急停保護按鈕，可以快速終止實驗，以最小程度降低因操作失誤而造成對樣品的損害。






外部尺寸 432mm*711mm*762mm重量：73Kg
真空腔材質(zhì) 耐用的焊接6061T6鋁合金真空腔
真空腔尺寸 約305mm寬*356mm深*305mm高
電極尺寸 約229mm*330mm.間距76mm(3層電極)
等離子發(fā)生器 300W@100-460KHz（可選配13.56MHz）
供氣 質(zhì)量流量控制器:O-50cc（連續(xù)可調(diào)）
壓力測量 Pirini真空計：0-1Torr
控制器 基于WINDOWS操作系統(tǒng)的控制系統(tǒng)
安全保障 一鍵急停按鈕
電源 220VAC，14A


附件（可選件）

抽氣裝置：推薦型號：6.5CFM  2級直驅(qū)真空油泵
300w/13.56Mhz可自動調(diào)節(jié)射頻發(fā)生器
一層電極
溫控電極
RIE反應(yīng)性電極
可控速率氮氣自動吹掃裝置
靜電屏蔽裝置




樣品處理實例：LED燈基片  處理前后對比






 
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